亚洲人成色7777在线观看不卡,国产AV一区二区三区日韩,亚洲AV永久无码国产精品久久,国产精品免费精品自在线观看

您的位置: 首頁(yè) > 技術(shù)文章 > PECVD系統(tǒng)爐相關(guān)介紹

PECVD系統(tǒng)爐相關(guān)介紹

更新時(shí)間:2024-10-30瀏覽:476次

  一、概述
 
  PECVD系統(tǒng)爐是一種基于等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的薄膜沉積設(shè)備,能夠?qū)Ω鞣N材料進(jìn)行薄膜沉積,包括金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等。PECVD技術(shù)在微電子、光電、平板顯示、儲(chǔ)能等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值。
 
  二、工作原理
 
  PECVD系統(tǒng)爐的工作原理是將氣態(tài)前驅(qū)體通過(guò)電場(chǎng)等離子體化為反應(yīng)中的激活態(tài)分子或離子,并在特定條件下沉積在襯底上。具體過(guò)程如下:
 
  反應(yīng)室抽真空:首先將反應(yīng)室抽真空至高真空狀態(tài)。
 
  等離子體產(chǎn)生:在等離子體源產(chǎn)生高能電子通過(guò)電磁場(chǎng)加熱氣體形成等離子體。
 
  化學(xué)反應(yīng):對(duì)氣態(tài)前驅(qū)體進(jìn)行等離子體化學(xué)反應(yīng),產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物。
 
  薄膜沉積:反應(yīng)產(chǎn)物在襯底上沉積為薄膜。
 
  在PECVD系統(tǒng)中,通過(guò)控制前驅(qū)體的壓力、流量、疊加比例等參數(shù),可以控制反應(yīng)過(guò)程中的離子濃度、溫度、速度等參數(shù),從而得到所需要的薄膜。
 
  三、設(shè)備結(jié)構(gòu)
 
  PECVD系統(tǒng)爐主要由等離子體源、反應(yīng)室、氣體進(jìn)料裝置、真空泵等組成。以下是各部分的具體介紹:
 
  1、等離子體源:
 
  射頻等離子體源:采用射頻電場(chǎng)產(chǎn)生等離子體,頻率通常在50kHz到13.56MHz之間。射頻電場(chǎng)可以采用電感耦合和電容耦合兩種方式。
 
  微波等離子體源:利用微波和磁場(chǎng)中的回旋共振效應(yīng)形成高活性和高密度的等離子體。
 
  2、反應(yīng)室:
 
  反應(yīng)室通常采用流線型外觀,采用SUS304不銹鋼材質(zhì),內(nèi)部有優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好。
 
  爐子底部裝有一對(duì)滑軌,移動(dòng)平穩(wěn),可以手動(dòng)從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。爐蓋可開(kāi)啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料。
 
  3、氣體進(jìn)料裝置:
 
  采用高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小。
 
  氣體通過(guò)質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行流量控制,數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥,可通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。
 
  4、真空泵:
 
  用于將反應(yīng)室抽真空至高真空狀態(tài),確保反應(yīng)過(guò)程中沒(méi)有雜質(zhì)干擾。
 
  四、優(yōu)點(diǎn)
 
  PECVD系統(tǒng)爐具有多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn),如沉積速度高、沉積質(zhì)量好、材料可控性高等,能夠滿足復(fù)雜材料沉積的要求。
 
  具體體現(xiàn)在:
 
  1、沉積速度快:采用射頻輝光技術(shù),大大提高了薄膜的沉積速率。
 
  2、沉積質(zhì)量好:薄膜均勻性指數(shù)高,孔洞少,不易龜裂。
 
  3、材料可控性高:通過(guò)控制工藝參數(shù),可以精確控制薄膜的成分和結(jié)構(gòu)。

 

Contact Us
  • QQ:1872035630
  • 郵箱:hfwys123456@163.com
  • 傳真:
  • 地址:合肥市肥西縣桃花鎮(zhèn)聯(lián)海云創(chuàng)港2-101

掃一掃  關(guān)注我們

©2025 合肥新元素科技裝備有限公司 版權(quán)所有    備案號(hào):皖I(lǐng)CP備2024051120號(hào)-1    技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    Sitemap.xml    總訪問(wèn)量:18911    管理登陸

日韩精品无码一本二本三本色 | 国产免费AV片无码永久免费 | 国产成人精品无码片区在线观看 | 女人xxx扒开荫道| 无翼鸟邪恶漫画| 人妻少妇一区二区三区| 亚洲人成无码网站在线观看 | 亚洲AV无码精品国产成人| 我被脱个精光绑起来憋尿的作文| 亚洲一区二区三区| 小小水蜜桃免费影院| 久碰人妻人妻人妻人妻人掠 | 亚洲色成人网站WWW永久四虎| 国自产精品手机在线观看视频| 又圆又大的奶越摸越大| 一区二区视频| 好色先生tv| 精品亚洲AV乱码一区二区三区| 精品人妻系列无码人妻免费视频| 国产性生大片免费观看性| a片在线观看免费| 哦┅┅快┅┅用力啊┅警花少妇| 善良的女秘书| 曰本丰满熟妇XXXX性| A级精品国产片在线观看| 熟妇人妻水多爽中文字幕| 暴虐sm调教a片| 爽灬爽灬爽灬毛及a片| 特级aaaaaaaaa毛片免费视频| 免费看成人aa片无码视频吃奶| 中文字幕久精品免费视频| 久久久久久亚洲精品| 人妻少妇精品无码专区动漫| 国产免费AV片无码永久免费| 正文第1章初尝云雨| 呦vodafonewifi高清| 老头在厨房添下面很舒服| 极品少妇hdxx麻豆hdxx| 成人免费毛片aaaaaa片| 无码国产色欲XXXX视频| 浪荡艳妇爆乳JUFD汗だく肉感 |